Im Vergleich zu sichtbaren LEDs sind UV-LEDs mit nur 30 Millionen US-Dollar ein ruhiger Markt. Die jüngsten Durchbrüche bei Strahlungsleistung und -intensität haben es jedoch ermöglicht, Quecksilberdampflampen in Anwendungen wie UV-Härtung und Fälschungserkennung zu verdrängen, berichtet LAURA PETERS.
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Dieser Artikel wurde in der Februar 2012-Ausgabe des LEDs Magazine veröffentlicht.
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Unterhalb des sichtbaren Spektrums liegt ein Wellenlängenband, das als Ultraviolett (UV) bezeichnet wird. Die Strahlung reicht von 100 bis 400 nm und kann unter anderem effektiv zum Sterilisieren von Kosmetika, zur Durchführung forensischer Analysen, zum Aushärten von Materialien (Abb. 1) und zum Desinfizieren von Wasser verwendet werden. Heute, wie es bei LEDs im sichtbaren Spektrum der Fall ist, beginnen UV-LEDs erst in einer ebenso vielfältigen Reihe von Märkten, die etablierten UV-Quellen zu ersetzen.
. BILD 1 Luftgekühltes UV-LED-basiertes Härtungssystem von Firefly (Quelle: Phoseon Technology).
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"Im Vergleich zur milliardenschweren LED-Beleuchtungsindustrie ist der UV-LED-Markt mit rund 30 Millionen US-Dollar ein Rundungsfehler, der jedoch schnell wächst", sagte Mike Lim, Direktor für globales Industrie- und Neugeschäft bei Luminus Devices mit Sitz in Billerica , MA.
Der Markt für UV-Härtung verzeichnet bei weitem den größten Anstieg der UV-LED-Akzeptanz aufgrund des relativ jüngsten Durchbruchs der Flussdichte von UV-LED-Chips über die 4W / cm2-Marke hinaus bei den verschiedenen Wellenlängen, die für die Inbetriebnahme der UV-LED-Härtung erforderlich sind Anlagen. „Zum ersten Mal haben LEDs die Leistungsdichten erreicht, die UV-LEDs gegenüber vorhandenen Quellen wettbewerbsfähig machen“, sagte Uwe Thomas, General Manager für Emitterkomponenten bei LED Engin, einem Anbieter von UV- und sichtbaren LEDs mit Sitz in Santa Clara, CA.
UV-A, B und C.
Das Aushärten beinhaltet die Kreuzpolymerisation eines lichtempfindlichen Materials, das eine Tinte (Druck), ein Klebstoff oder eine Beschichtung sein kann, und wird hauptsächlich bei Wellenlängen von 395 nm, 385 nm oder 365 nm durchgeführt, die Teil des UV-A-Spektrums sind (315) -400 nm). Eine weitere wichtige UV-A-Anwendung sind Inspektionssysteme, die auf Bildverarbeitung basieren. UV-LED-Taschenlampen in diesem Bereich werden verwendet, um betrügerische Identifizierung und Währung zu erkennen, und bieten den Vorteil der Verwendung in gut beleuchteten Umgebungen, die mit einer Quecksilberdampflampe schwierig ist.
Im UV-B-Spektrum (280-315 nm) umfassen Anwendungen für UV-LEDs Härtung, medizinische Lichttherapie, forensische Analyse und Wirkstoffentdeckung. Das Marktforschungsunternehmen Yole Développement (Lyon, Frankreich) hat geschätzt, dass 90% der heutigen UV-LED-Anwendungen in den Regionen UV-A und UV-B basieren (Abb. 4). Yole hat angekündigt, dass der Markt für UV-LEDs jährlich um 30% von 25 Mio. USD im Jahr 2010 auf über 100 Mio. USD im Jahr 2016 wachsen wird. Abb. 5 zeigt eine noch optimistischere Prognose der Optoelectronics Industry Development Association, der International Optoelectronics Association und des European Photonics Industry Consortium.
BILD 2 Multi-Die-UV-Emitter in einer Keramikverpackung (Quelle: LED Engin)…
FEIGE. 2.
Über diese Anwendungen hinaus hat UV-B-Strahlung bekanntermaßen vorteilhafte gesundheitliche Eigenschaften, einschließlich der natürlichen Synthese von Vitamin D bei Menschen, die Sonnenlicht ausgesetzt sind. UV-B beschleunigt auch die Produktion von Polyphenolen in bestimmten Blattgemüsen wie rotem Salat. Es wird angenommen, dass Polyphenole antioxidative Eigenschaften haben. „Im Allgemeinen werden diese Pflanzen heute in Gewächshäusern gezüchtet, die absichtlich den UV-Anteil des Spektrums herausfiltern, um das Pflanzenwachstum zu maximieren. Interessanterweise haben wir Hinweise darauf, dass wenn diese Pflanzen kurz vor der Ernte UV-B-LEDs ausgesetzt werden, ihr Polyphenolgehalt erhöht wird, ohne die Pflanzenmasse zu beeinträchtigen “, erklärte Cary Eskow, globaler Direktor für fortschrittliche LEDs und Beleuchtung bei Avnet Electronics Marketing in Phoenix , AZ, das UV-LEDs verteilt. Er fuhr fort: „Dies ist eine neuartige Methode, um die Attraktivität einiger Lebensmittel ohne Verwendung von Chemikalien zu erhöhen. Polyphenole haben auch aufgrund ihrer angeblichen krebserregenden, antiproliferativen und antimutagenen Eigenschaften Aufmerksamkeit erhalten. „
Im unteren UV-C-Spektralbereich (100-280 nm) sind die primären LED-Anwendungen die Luft- und Wassersterilisation sowie eine Reihe von Analysewerkzeugen, einschließlich solcher, die spektroskopische und Fluoreszenzmessungen durchführen. In diesem Spektralbereich arbeiten auch chemische und biologische Detektoren.
UV im Bereich von 250 bis 275 nm sterilisiert Wasser, Luft und Oberflächen, indem es die DNA und RNA von Mikroorganismen auflöst und deren Reproduktion verhindert. Insbesondere wird angenommen, dass 275 nm die effektivste Wellenlänge zur Ausrottung von Krankheitserregern wie E-coli in Wasser ist. Tatsächlich haben Ingenieure von Sensor Electronic Technology Inc. (SETi) mit Sitz in Columbia, SC, festgestellt, dass 275 nm die optimale Wellenlänge für die Wasserdesinfektion ist. SETi hat die Desinfektion von Trinkwasser in einem Inline-Durchflusssystem mit weniger als 40 mW UV-Leistung demonstriert.
Alternativen zu Quecksilberbogenlampen
Bei Härtungsvorgängen in der Produktion werden Quecksilberdampflampen durch kurze Lebensdauer (2000-10.000 Stunden), langsame Aufwärm- und Abkühlzeiten und eine breite spektrale Leistungsverteilung behindert. „Darüber hinaus werden über 60% der Energie, die an eine typische Quecksilberdampflampe angelegt wird, als Infrarotenergie, also Wärme, zurückgestrahlt“, sagte Eskow. Er fügte hinzu, dass die UV-Leistung einer Quecksilberdampflampe während ihrer Lebensdauer schnell abnimmt, da ein Teil ihres Elektrodenmaterials verdampft und sich auf der Innenseite der Quarzröhre ein Film ablagert, in den die UV-Strahlung nicht eindringen kann. Infolgedessen kann der Benutzer dies nicht leicht vorhersagen die Menge an UV, die zu einem späteren Zeitpunkt erzeugt wird;. Oft ist dies ein kritischer Prozessparameter.
FEIGE. 3. UV-C-LEDs für keimtötende Anwendungen von Crystal IS, Inc. Das Unternehmen wurde kürzlich von Asahi Kasel aus Japan übernommen.
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Die Quecksilberlampe hat einen Hauptpeak bei 365 nm, aber mehrere kleinere Peaks im sichtbaren und infraroten Bereich (Abb. 7). Ein Nachteil dieser äußeren Spitzen ist die Erzeugung von Wärme während des Druckens und anderer Härtungsvorgänge. „Bei Kunststoffen und anderen wärmeempfindlichen Materialien gab es beim Drucken echte Herausforderungen, da das Medium durch die Hitze der Quecksilberlampe verzerrt wird“, erklärte Steve Metcalf, CEO und Präsident von Air Motion Systems (AMS), einem Hersteller von Härtungsmitteln Systeme mit Sitz in River Falls, WI. Er gab Beispiele an, zu denen Plastik-Geschenkkarten oder Kreditkarten gehören, die mit Lithografie bedruckt werden.
Metcalf fügte hinzu, dass viele Menschen, die aufgrund der Komplexität der Standardhärtungsprozesse - der Hochspannung, der Hitze von Quecksilberbirnen und Umweltproblemen - die UV-Härtung nicht in Betracht gezogen hätten, nun die UV-LED-Härtung in Betracht ziehen, da dies die traditionellen Probleme des alten Prozesses untergräbt .
UV-LEDs bieten Vorteile wie die genaue Kenntnis des Leistungspegels, der an das Aushärtungsmedium abgegeben wird, sowie weitere Vorteile, für die LEDs bekannt sind, wie beispielsweise die Fähigkeit, die Leistung pulsbreitenmoduliert, erklärte Eskow.
Der Übergang zu UV-LEDs öffnete auch die Tür zu umweltfreundlicheren Härtungsformulierungen. Mit der nächsten Generation von Produkten, die von Tinten-, Beschichtungs- und Klebstoffunternehmen entwickelt wurden, nutzten sie die Gelegenheit, flüchtige organische Verbindungen (VOCs) aus dem Verkehr zu ziehen, die mit lösungsmittelbasierten Formulierungen früherer Chemikalien verbunden sind.
Aushärtungsoptimierung
Bei UV-Bauelementen mit längerer Wellenlänge werden InGaN-basierte Epilayer auf ähnliche Weise wie bei der Herstellung von blauen LEDs auf Saphirsubstraten gezüchtet, um UV-LEDs mit 385, 395 und 405 nm zum Aushärten herzustellen. Ein wesentlicher Vorteil von Geräten mit höherer Wellenlänge besteht darin, dass sie mit höherer Leistung betrieben werden können. „395 nm ist wirklich der Sweet Spot für die UV-LED-Aushärtung, da die Formulierung bei 405 nm empfindlich gegenüber Umgebungslicht ist. Sie möchten also knapp unter 400 sein und gleichzeitig die LEDs mit hoher Leistung betreiben können“, sagte Lim. Alle großen Anbieter von Härtungsformulierungen (Photoinitiatoren und Harze) haben kürzlich Tinten und Beschichtungen mit höherer Wellenlänge auf den Markt gebracht, um diesen Bedarf zu decken.
FEIGE. 4. Die meisten Anwendungen liegen im UV-A- und UV-B-Bereich des Spektrums.
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Die UV-LEDs mit höherer Wellenlänge erzeugen nicht nur mehr Strom, sondern weisen auch höhere Wirkungsgrade bei Wandsteckern auf. Beispielsweise beträgt bei 365 nm die Ausgangsleistung einer UV-LED nur 5-8% der Eingangsleistung. Bei 385 nm verbessert sich dieser Wirkungsgrad, jedoch nur auf ~ 15%, wodurch der Chip mit höherer Wellenlänge die bessere Wahl ist.
Aushärtungsprozesse erfordern große Hochleistungs-LEDs (mehrere Chips / Chips), die in einer engen Matrix in einer Chip-on-Board-Konfiguration nahe dem Emitterfenster mit einem luft- oder wassergekühlten internen System angeordnet sind, um Wärme aus dem zu entfernen Rückseite der Platine. "Es spielt keine Rolle, wie hoch die UV-Intensität am Emitterfenster ist, sondern wie wichtig die Intensität an der Oberfläche des Mediums ist", sagte Metcalf. Je nach Ausstattung und Aushärtungsanwendung kann das Medium 1 bis 100 mm vom Emitterfenster entfernt sein, für das AMS spezielle Optiken hergestellt hat. Zusätzlich wird eine metallgekühlte Leiterplatte verwendet, um die Wärme von der LED-Matrix abzuleiten.
Luftkühlung wird ebenfalls verwendet. Beispielsweise kann das in 1 gezeigte Härtungssystem, das ein Emitterfenster von 150 × 20 mm und eine Flussdichte von 4 W / cm² aufweist, zum Punkthärten von Tinten, Beschichtungen oder Klebstoffen verwendet werden. Heutzutage werden UV-LED-Härtungsgeräte häufig speziell für die Anwendung entwickelt. Metcalf beschreibt große Flachbett-Bannerdrucker als in der Lage, LEDs mit geringerer Leistung zu verwenden, aber Digital-, Offset- und Flexodrucktechnologien mit höherer Geschwindigkeit erfordern eng beieinander liegende Bänke von LEDs mit hoher Flussdichte. Obwohl die Strahlung nicht sichtbar ist, wird eine Kollimationsoptik verwendet, um die Strahlung mit einem gleichmäßigen Leistungspegel über das Zielmedium zu liefern. Die digitale Tintenstrahlhärtung war das erste Segment, in dem UV-LEDs eingesetzt wurden, da für die Druckköpfe ein optimaler Abstand zum Medium erforderlich war, um eine optimale Leistung zu erzielen. Dies war eine natürliche Passform für UV-LED-Lampen, da die Aushärtungsintensität am Emitterfenster am höchsten ist.
FEIGE. 5. Marktgeschichte und Prognose für UV-LED.
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Stacy Volk, Marketingkommunikationsspezialistin bei Phoseon Technology in Hillboro, OR, Herstellerin von UV-LED-Härtungssystemen, wies auf einige der zusätzlichen Vorteile der UV-LED-Härtung hin, darunter eine kontrollierte Härtungsintensität, skalierbare Geräte und die Tatsache, dass die Maschinen sind kleiner und kompakter.
Eines der Probleme, mit denen die Härtungsindustrie konfrontiert war, waren Inkonsistenzen in der Messpraxis und bei der Definition von Parametern, beispielsweise bei der Definition der radiometrischen Intensität. Die UV LED Curing Association (www.uvledcuring.org) wurde kürzlich von den Härtungsherstellern Phoseon Technology, Integration Technology Limited und Lumen Dynamics gegründet, um „Richtlinien festzulegen und die Kompatibilität in der Branche sicherzustellen“, erklärte Bill Cortelyou, Präsident und CEO von Phoseon Technology . Der Verband möchte außerdem dazu beitragen, die Entwicklung von Anwendungen zu beschleunigen, die speziell für UV-LEDs geeignet sind, Forscher, Integratoren und Endbenutzer über die Vorteile von UV-LEDs informieren und ein Forum für die Kommunikation und Zusammenarbeit in der Industrie bieten.
"In unserer 15-jährigen Erfahrung in der LED-Härtungstechnologie hat die Branche bedeutende Durchbrüche erzielt, die LEDs als praktikable Alternative mit erheblichen Vorteilen bewiesen haben", sagte Allan Firhoj, Präsident und CEO von Lumen Dynamics mit Sitz in Ontario, Kanada. Er fügte hinzu: "Die UV LED Curing Association wird dazu beitragen, dass der Markt Kenntnisse und Erkenntnisse über die UV LED-Technologie und ihre zahlreichen kommerziellen Vorteile erhält."
Eine zweite Vereinigung, die International LED-UV Association (www.leduv.org), wurde im September 2011 in Japan gegründet, um Hersteller von UV-LED-Druckern, UV-LED-Hersteller sowie Tinten- und Beschichtungsformulierer zu organisieren, die sich für die Entwicklung nachhaltiger und nachhaltiger Produkte einsetzen die umweltfreundlichen UV-LED-Drucktechnologien.
Chiphersteller
Zu den Unternehmen, die UV-LED-Chips herstellen, gehört Crystal IS mit Sitz in Green Island, NY (Abb. 3). Dowa Electronic Materials Co Ltd mit Sitz in Tokio, Japan;. Nichia Corp, mit Sitz in Tokushima, Japan;. SemiLEDs mit Sitz in Hsinchu, Taiwan; .. SETi und Seoul Optodevice Co Ltd mit Sitz in Kyunggi-do, Korea, einer hundertprozentigen Tochtergesellschaft von Seoul Semiconductor.
FEIGE. 6. Die UVClean-LED-Arrays von SETi liefern tiefes UV-Licht mit sehr hoher Leistung bei 300 bis 320 nm, dem optimalen Bereich für Phototherapien.
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UV-LED-Hersteller konzentrieren sich darauf, die Effizienz und Lebensdauer ihrer Geräte kontinuierlich zu verbessern und gleichzeitig die Kosten zu senken. Seoul Optodevice hat eine Fertigungspartnerschaft mit SETi geschlossen, das eine breite Palette von UV-LEDs und -Lampen herstellt und alles von der Waferverarbeitung bis zum kundenspezifischen Lampendesign durchführt. Das Unternehmen bietet UV-Strahler in hermetisch versiegelten Metall-Glas-Gehäusen (TO-18, TO-39 und TO-3) mit Standardprodukten und kundenspezifischen Lösungen im Wellenlängenbereich von 240 bis 355 nm. Abbildung 6 zeigt Beispiele für UV-LED-Arrays in Lampen, die für Strahlentherapien im Bereich von 300 bis 320 nm für Phototherapie-Anwendungen wie die Behandlung von Hauterkrankungen wie Psoriasis oder Ekzemen ausgelegt sind.
Tim Bettles, Marketing- und Vertriebsleiter bei SETi, erklärte, dass seine Fertigungsvereinbarung mit Seoul Optodevice SETi dabei helfen soll, das Volumen an UV-LEDs und -Lampen zu steigern und gleichzeitig die Kosten zu senken. „Unsere ersten UV-LED-Produkte wurden im Jahr 2004 auf den Markt gebracht. Seitdem haben wir sowohl bei der Technologieentwicklung als auch bei der Markteinführung einen langen Weg zurückgelegt. Wir richten jetzt die Kapazität von SETi für die Massenfertigung aus, um den neuen Anforderungen der Mainstream-Verbrauchermärkte gerecht zu werden “, sagte Bettles. SETi hat kürzlich den Kauf einer neuen Anlage angekündigt, in der jährlich über 100 Millionen UV-LEDs hergestellt werden sollen.
Devin Tang, Marketing Manager von SemiLEDs, gab an, dass das Unternehmen über eine vollständige Palette von Würfeln und oberflächenmontierten Hochleistungs-LEDs im Bereich von 360 bis 400 nm verfügt. Er stellte fest, dass sich die Produkte des Unternehmens in Bezug auf die Kupferlegierungssubstrate der Chips, die eine hohe Wärmeleitfähigkeit (400 W / mK) ermöglichen, und die Siliziumsubstrate in den Gehäusen, die die Kosten senken, von anderen unterscheiden.
Epigap Optronic mit Sitz in Berlin, Deutschland, dem Hauptvertriebshändler für Dowas UV-LEDs, gab an, dass Dowa bloße Würfel oder verpackte LEDs mit 265, 280, 310, 325 und 340 nm herstellt. Nichia stellt oberflächenmontierte Hochleistungs-LEDs und Lampen mit geringer Leistung für 365, 375 und 385 nm her. Crystal IS stellt 260-nm-UV-LEDs her und ist das einzige Unternehmen, das LEDs auf AlN-Substraten herstellt.
Probleme bei der Waferverarbeitung
Wie bereits erwähnt, werden Epilayer aus InGaN und GaN, die durch MOCVD gezüchtet wurden, für UV-LEDs mit höherer Wellenlänge verwendet, die auf Saphirsubstraten hergestellt wurden. Bei niedrigeren Wellenlängen müssen jedoch Epilayer aus AlGaN mit zunehmendem Aluminiumgehalt verwendet werden. Es gibt viele verschiedene Zusammensetzungen, an denen Schichten aus AlGaN-, AlInGaN-, AlInN- und AlN-Epilayern beteiligt sind. Unabhängig von der Zusammensetzung wird es jedoch einfacher, Materialien auf AlGaN-Basis auf AlN-Substraten zu züchten als Saphir, was die Entwicklung von AlN-Substratlieferanten gefördert hat wie Hexatech mit Sitz in Morrosville, NC. Trotzdem sind AlN-Substrate nur in kleinen Größen erhältlich und bleiben viel teurer als Saphirwafer, wodurch dieser Markt eingeschränkt wird.
FEIGE. 7. Spektrale Leistung einer Quecksilberdampflampe im UV- und sichtbaren Bereich.
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Vor kurzem hat Theodore Moustakas von der Boston University Pionierarbeit bei der Verwendung von MBE (Molekularstrahlepitaxie) geleistet, um effizientere UV-LED-Bauelemente (hohe interne Quanteneffizienz) unter Verwendung von AIGaN-basierten Schichten auf Saphirsubstraten zu züchten. Dieser Ansatz würde mit den verschiedenen MOCVD-Techniken konkurrieren, die heute zur Ablagerung von AlGaN verwendet werden.
Optik und Verpackung
Obwohl die Hersteller von UV-LEDs hart daran gearbeitet haben, die interne Quanteneffizienz und die optische Effizienz zu verbessern, bleibt die Gesamteffizienz unter 20%, was bedeutet, dass viel Wärme vom Übergang der Diode abgeführt werden muss. „Um mit den heutigen Chiptechnologien die erforderlichen Flussdichten zu erreichen, müssen die Multi-Die-Emitter mit dem höchsten Strom betrieben werden. Dies ist nur mit einem LED-Gehäuse möglich, das extreme Leistungsdichten für die Lebensdauer des Produkts bewältigen kann. Ein thermisch angepasstes spannungsfreies Gehäuse und eine Glaslinse tragen dazu bei, häufige Verpackungsfehlermodi bei UV-LEDs zu vermeiden “, sagte Thomas. Er beschrieb das patentierte mehrschichtige Keramiksubstrat von LED Engin mit extrem geringem Wärmewiderstand, das schnell Wärme von der Düsenverbindung leitet (Abb. 2).
Während einige UV-LED-Arrays auf Keramiksubstraten verpackt sind, verwenden viele Hersteller, insbesondere von Einzelchip-Geräten, Durchgangsbohrungen vom Typ TO-can mit einer Glasplatte, die eine hohe UV-Transmission bietet. Der Ersatz von Epoxidlinsen durch flaches oder kuppelförmiges Glas, das UV-durchlässig ist, ist eine relativ neue Entwicklung, die eine Verlängerung der Lebensdauer von etwa 5000 Stunden auf bis zu 30.000 Stunden ermöglicht hat. UV beschleunigt den Abbau des Epoxidmaterials auf nichtlineare Weise und wirkt sich direkt auf die Lebensdauer aus. Die Glaslinsen bieten eine verbesserte Haltbarkeit und Zuverlässigkeit. Eine andere Alternative besteht darin, eine Glaslinse mit einer Silikonverkapselung zu kombinieren, um eine noch höhere Flussdichte und einen höheren Wirkungsgrad bei gleichzeitig kürzerer Lebensdauer (15.000 bis 20.000 Stunden) zu erzielen.
Die Wahl, ob eine hermetische Versiegelung in der Verpackung verwendet werden soll, wird manchmal von den Materialien im Chip bestimmt. „Ein Aluminium-Nitrid-Substrat schreibt fast die Verwendung eines hermetischen Gehäuses vor, denn je höher der Aluminiumgehalt, desto höher die Affinität des Geräts zu Sauerstoff, sodass eine hermetische Versiegelung das UV-Gerät besser schützt“, erklärte Frank Gindele, Produktentwicklungsmanager bei Schott Electronic Packaging in Landshut. Das neue Gehäuse auf Kupfer- und Glasbasis von Schott bietet die Vorteile einer hohen Wärmeleitfähigkeit und Hermetik.
Gefahren von UV
Es ist wichtig zu erkennen, dass einige der Eigenschaften, die UV-LEDs sehr leistungsfähig und nützlich machen - ihre niedrige Wellenlänge und hohe Energie -. Sind auch die Eigenschaften, die sie gefährlich machen? Die Warnschilder auf UV-LEDs und ihren Produkten sind klar, aber beachten Sie :. UV-LEDs senden während des Betriebs unsichtbare ultraviolette Strahlung aus, die auch für kurze Zeit Augen- oder Hautschäden verursachen kann. (Weitere Informationen zur photobiologischen Sicherheit finden Sie in unserer Artikelserie, deren Teil 3 auf S.63 dieser Ausgabe erscheint .)
Nächste Schritte
Bei der Frage nach dem Hauptproblem, das UV-Benutzer davon abhalten könnte, von Quecksilberdampfquellen auf UV-LEDs umzusteigen, sagen viele Branchenteilnehmer, dass es darauf ankommt, die bestehende Dynamik der Branche und natürlich die Kosten zu brechen. Lim glaubt, dass eine Abrundung des Wellenlängenportfolios einen großen Beitrag zur Akzeptanz leisten würde. "Ich denke, wenn wir gute 250-nm-, 285-nm- und 300-nm-LEDs, diese drei Wellenlängen, bekommen können, können wir die Tür für Quecksilberbogenlampen so ziemlich schließen."
